臭氧常温常压下为气态，是一种强氧化剂，具有较高的还原电势(EA0=2.07V)，并能氧化分解多种有毒有害物质。臭氧氧化作用或自身分解后的产物为水或氧气，不产生二次污染，因此又被称为“绿色的消毒剂”。
一、
臭氧灭菌柜，该结构是在蒸汽灭菌柜的基础上，采用臭氧发生器对粉料进行灭菌。其原理是先把粉料铺在托盘中，再放入柜内架子上，或把托盘放在移动小车 上推入柜内，再用臭氧进行灭菌。此方法需定时将托盘取出翻动粉料，以便能充分接触臭氧，但仍有死角，保证不了臭氧和粉料的充分混合，并且费时费力，故其实 际应用价值不高。
二、臭氧双锥混合机，该方法是把粉料加入混合机中，再将臭氧通入双锥或二维混合机中对粉料进行灭菌。但仍有许多不足之处， 一方面因为臭氧发生器 浓度的分布不均匀，会因局部浓度过高而对粉料的目标成分和化学成分造成较大破坏；另一方面，粉料和臭氧在此结构下很难达到理想的接触效果，存在灭菌死角。 另外，灭菌时间过长（3-4小时），也存在很大的不足，一方面不适应药厂对灭菌工序上下道设备匹配，给生产调度带来很大难题；另一方面，因为臭氧是一种很 强的氧化剂，长时间让臭氧和粉料接触，会带来臭氧对粉料的目标成分和化学成分造成很大破坏的不良后果。故此法亦难以应用在实际生产中。
三、 臭氧粉料灭菌机，臭氧粉料灭菌机结构采用真空上料，然后经自动投料装置进入混合选浮箱，利用气力混合器投加高纯度、高浓度臭氧，使粉料悬浮在混合悬浮箱 内，并瞬间达到灭菌浓度，经除尘装置进行气粉分离，洁净的气体通过风管经风机进入气力混合器进行循环使用，从而达到消毒灭菌降解农药残留等目的，并能实现 粉料的充分混合。其设计思路符合臭氧粉料灭菌需充分混合的条件，并且灭菌*，所以在实际生产中得到了认可。
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